ASML 賣的不是機器:是先進製程的曝光次數
【每日圖鑑 · 2026-07-16】
ASML 第二季再次上調全年指引,表面看是 AI 帶動設備需求,真正值得理解的卻是半導體製造的一條隱形公式:光刻需求不只取決於晶圓投片量,也取決於每片晶圓要曝光多少次。製程越先進,關鍵圖形越難印,ASML 能收取的其實是一筆不斷增加的「曝光稅」。這不是實際稅負,而是先進製程很難避開的製造成本。
■ 一、為什麼晶片產量沒翻倍,ASML 的需求仍會成長?
ASML 第二季系統銷售結構
第二季系統銷售 65.6 億歐元,其中 EUV 占 57%
邏輯與記憶體用途接近各半,分別為 51% 與 49%
ASML 預期先進邏輯與 DRAM 的 EUV 曝光數,會在本十年剩餘時間繼續增加
一片晶圓要經過許多層電路製作,每一個關鍵層都可能需要一次或多次曝光。對設備需求來說,真正有用的簡化公式是:
光刻需求 ≈ 晶圓投片量 × 每片曝光次數 ÷ 單機每小時產能
所以 AI 晶片數量不必翻倍,ASML 的市場也可能成長。只要先進邏輯、HBM 與 DRAM 轉向更複雜的製程,每片晶圓需要處理的關鍵曝光增加,晶圓廠就得買更多機台,或替既有機台升級產能。這也解釋了為什麼只看晶片出貨量,會低估設備需求。
■ 二、Low-NA 多重曝光與 High-NA,差別究竟在哪裡?
Low-NA 多重圖形化與 High-NA 單次曝光比較
當圖形小到 Low-NA EUV 無法一次印完,晶圓廠有兩個主要選擇:把圖形拆成多張光罩、多次曝光與蝕刻;或者改用解析度更高的 High-NA EUV,把部分關鍵層重新壓回單次曝光。
設備成熟度:Low-NA 已大量裝機;High-NA 則是仍在導入的新平台
光罩數量:最困難的先進層,Low-NA 可能需要 3 至 4 張;High-NA 實驗結果顯示可縮至 1 張
成本來源:Low-NA 增加曝光、蝕刻、對位與良率損失;High-NA 承擔高價設備、製程重驗證與新材料成本
主要風險:Low-NA 的步驟、週期與誤差持續累積;High-NA 面對半幅曝光、拼接、光阻與量產成熟度問題
Imec 在 A14、A10 等未來邏輯關鍵金屬層的實驗中顯示,0.33NA EUV 需要三至四張光罩處理的圖形,0.55NA High-NA 可望用一次曝光完成。這不是所有晶片層都能直接套用的結論,卻說清楚 High-NA 的經濟價值:它賣的不是更小的奈米數字,而是少掉的光罩、蝕刻、清洗、量測與等待時間。
■ 三、為什麼 High-NA 更先進,卻未必立刻更省錢?
High-NA 與 Low-NA 每次曝光設備成本比較
Bernstein 估計,2025 年 HNA AB 每次曝光設備成本約為 LNA 的 3.1 倍
同一估計預期,HNA AB 的倍數到 2030 年降至約 2.1 倍
HNA AA 的相對成本則由約 2.4 倍降至約 1.9 倍
High-NA 並不是免費午餐。一台設備價格超過 3.5 億歐元,而且為了保留既有六吋光罩規格,它採用不同方向放大倍率的光學設計,單次曝光面積只有 Low-NA 的一半。ASML 必須用更快的晶圓台與光罩台維持產能;尺寸較大的晶片,還可能需要把兩個半幅圖形精準拼接。
這就是台積電與 Intel 做出不同選擇的原因。Intel 願意先在部分 Intel 18A 產品層驗證 High-NA,取得下一代製程的學習曲線;台積電先前則表示目前的成本效益仍不夠有吸引力。兩家公司不是誰看錯方向,而是在計算不同的成本:Intel 願意為提早學習付錢,台積電則選擇繼續榨出 Low-NA 的產能與製程空間。
■ 四、無論客戶何時採用 High-NA,ASML 為什麼都能受益?
ASML 2026 年第三季與全年展望
2026 年營收指引由 360 億至 400 億歐元,上修至 430 億至 450 億歐元
第二季維護、服務與升級收入達 27.6 億歐元,並被管理層點名為超出指引的主要來源
2027 年 Low-NA EUV 產能的訂單覆蓋已接近完整
晶圓廠延後 High-NA,通常代表要繼續依賴 Low-NA 多重曝光、提高機台利用率並購買升級;晶圓廠導入 High-NA,則要購買更昂貴的新平台,再建立新的服務與升級週期。這才是 ASML 真正難繞過的地方:它控制的不是單一世代機器,而是客戶在「更多次舊曝光」與「更少次新曝光」之間切換的技術路線。
但這不代表 ASML 可以任意定價。2025 年最大單一客戶占公司營收近四分之一,少數大型晶圓廠仍能靠延後採用、調整訂單與要求每片晶圓成本改善來談判。ASML 的優勢很強,議價卻仍是雙向的。
■ 五、High-NA 普及後,價值會轉移到哪些供應商?
家登 EUV 612 光罩傳送盒
High-NA 不只是把一台機器搬進廠房。解析度提升後,光罩誤差、光阻材料、保護光罩的薄膜與載具、蝕刻精度、缺陷檢查和量測都要一起升級。Imec 把它稱為材料、圖形化、光罩、成像、量測與設計的共同最佳化。
載具就是一個具體案例。家登曾表示其 High-NA EUV Pod 已通過 ASML 認證;但公司 2026 年 1 月的說法也顯示,產品仍在客戶端積極驗證。這代表設備端認證不等於量產放量,新曝光平台還要通過晶圓廠自己的光罩保護、傳送與微環境資格門檻。
因此,研究這個產業不能只問 ASML 能賣幾台。更重要的是看瓶頸往哪裡移:若單次曝光成功,價值會從重複曝光與蝕刻,轉向更高規格的光罩、光阻、檢測與製程控制;若 High-NA 延後,Low-NA 的多重圖形化、蝕刻與量測需求反而會維持更久。這才是設備週期內部真正的利益重新分配。
■ 看懂 ASML,接下來要追蹤哪四個指標?
觀察 ASML,不能只看訂單與晶圓廠資本支出。還要追蹤四個產業指標:每片晶圓的 EUV 曝光數、單機每小時產能、High-NA 替代多重曝光的速度,以及維護與升級收入。
對我來說,這次財報最有價值的訊號不是 ASML 又上調多少,而是先進製程正在進入「客戶可以選工具,卻很難減少曝光成本」的階段。若未來 High-NA 能穩定把 3 至 4 次圖形化縮成一次,產業價值會重新分配;若做不到,Low-NA 與周邊製程的曝光稅就會繼續存在。
資料來源:ASML Q2 2026 財報與電話會、ASML 2024 Investor Day、ASML High-NA 技術資料、Imec High-NA EUV 技術研究、Bernstein analysis and estimates、家登官方產品與新聞稿、Intel Foundry、ZEISS、Reuters、Bloomberg | Data as of 2026-07-16 12:35 TPE
圖片來源:圖一、圖四 ASML 2026 Q2 Investor Relations Presentation;圖二依 ASML、Imec 技術資料整理;圖三 Bernstein analysis and estimates;圖五家登官方產品頁
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